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產品詳細頁

MFA 系列微型鋼線性位移臺

簡要描述:MFA 系列微型鋼線性位移臺,采用極為緊湊的封裝,具有出色的熱穩定性、剛度和載重能力。相對于位移臺的尺寸,微型 MFA 是一種低成本選擇,可在空間受限的應用中實現精密運動。

全鋼結構可以實現高剛度和熱穩定性
緊湊型設計用于空間有限的應用
剛性雙列線性滾珠軸承
真空兼容版本至 10-6 hPa。
即插即用 - ESP 兼容
高分辨率及編碼器反饋可實現 100 nm 靈敏度的超平滑運動

  • 產品型號:
  • 廠商性質:經銷商
  • 更新時間:2024-11-27
  • 訪  問  量:562

產品介紹

品牌Newport/美國價格區間面議
產地類別進口產品種類電動
應用領域綜合

MFA 系列微型鋼線性位移臺產品規格

型號image.png
MFA-PPDMFA-CCMFA-CCV6
行程范圍25 mm25 mm25 mm
最大速度1 mm/s2.5 mm/s1.25 mm/s
中心負載能力50 N50 N25 N
軸向負載 (+Cx)10 N10 N5 N
逆軸向負載能力 (-Cx)-10 N-10 N-5 N
最小位移增量100 nm100 nm100 nm
精度,典型值±0.9 µm±0.7 µm±1.0 µm
精度,保證值±3.0 µm±3.0 µm±3.0 µm
單向重復精度,典型值±0.12 µm±0.08 µm±0.08 µm
單向重復精度,保證值±0.25 µm±0.15 µm±0.15 µm
雙向重復精度,保證值±0.75 µm±0.75 µm±1.0 µm
雙向重復精度,典型值±0.2 µm±0.15 µm±0.2 µm
俯仰,典型值±25 µrad±25 µrad±25 µrad
俯仰,保證值±100 µrad±100 µrad±100 µrad
俯仰順應性80 µrad/Nm80 µrad/Nm80 µrad/Nm
偏擺,典型值±30 µrad±30 µrad±30 µrad
偏擺,保證值±50 µrad±50 µrad±50 µrad
偏擺順應性80 µrad/Nm80 µrad/Nm80 µrad/Nm
滾轉順應性60 µrad/Nm60 µrad/Nm60 µrad/Nm
原點重復精度±2.5 µm±2.5 µm±2.5 µm
驅動方式Stepper MotorDC MotorDC Motor
軸承Double-Row Ball BearingsDouble-Row Ball BearingsDouble-Row Ball Bearings
螺紋類型M2 and M3M2 and M3M2 and M3
電纜長度3 m3 m1.5 m
真空兼容性NoNo10-6 Torr
MTBF10,000 h (25% load, 30% Duty cycle)10,000 h (25% load, 30% Duty cycle)10,000 h (25% load, 30% Duty cycle)
Compliance








MFA 系列微型鋼線性位移臺特征

雙排線性滾珠軸承滑軌

Newport專有的雙列直線球軸承設計具有直接加工到平臺結構框架中的軸承方式,可實現非常順暢的行程,更長的耐用性和更長的使用壽命。 與使用商用軸承的其他解決方案相比,MFA線性位移臺具有更高的負載能力和剛度,并且俯仰和偏航誤差也較小。

帶有高分辨率反饋的高速直流電機


直流電動機的最大特點是速度快,運動平穩,效率高,功率/重量比高。MFA-CC直流電動機具有一個集成的齒輪箱和一個電動機安裝的旋轉編碼器。這個2,048 cts / rev 高分辨率的旋轉編碼器提供位置反饋。 結合低摩擦機械設計,MFA-CC可提供100納米靈敏度的超平滑運動。 更快的運動,更高的可靠性和更低的游隙使直流電動機驅動的位移臺非常適合要求小增量運動,高動態速度和良好重復性的應用。

經濟型微米步進電機


對于要求不高的應用,步進電機可能是比直流電機更經濟的解決方案。 步進電動機使用磁吸和排斥的基本原理進行操作,將數字脈沖轉換為機械軸的旋轉。 為了提高運動的分辨率和平滑度,MFA-PPD具有微米步進功能,這是一種將運動的完整步長以電子方式劃分為大量局部步長的方法。

全鋼結構

全鋼機身允許使用更為緊湊的設計,使之具有出色的剛度重量比、更高的熱穩定性和載重能力。

運行端點限位開關

平移臺兩端具有運行端點限位開關,以防止平移臺因超程而受損。


頂板和底板

有關更多用途和安裝選項,頂板和底板 可以單獨訂購實現垂直(Z軸)安裝和光學平臺安裝。 對于垂直安裝,請注意,垂直(Z軸)平臺應連接到MFA- BK 。首先(通過MFA-BK的兩個沉孔M3孔),然后可以通過MFA-BK的四個沉孔M2孔將組合安裝到水平(X軸或Y軸)平臺上。



真空兼容版本

MFA-CCV6 是 MFA 的真空兼容版本,可兼容 10-6 hPa。

CONEX 控制器版本

Newport還提供了集成CONEX控制器的直流電機線性工作臺CONEX-MFACC。對于開箱即用的控制,CONEX控制器是預配置的,并與MFA-CC級一起交付。

免費提供計量報告

MFA平移臺負載特性

Compatible Controllers

適用于MFA系列級的兼容運動控制器有:

1.XPS-RLD運動控制器 (2或4軸):需要一個XPS-DRV11驅動模塊。

2.XPS-D運動控制器(2、4、6或8軸):需要一個XPS-DRV11驅動模塊

3.運動控制器 (1軸、2軸或3軸) :即插即用兼容。

4.SMC單軸運動控制器 (CC或PP): 即插即用兼容



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