產品介紹

IMS 長行程鋁直流電機線性平移臺產品規格

型號
	IMS300CC	IMS400CC	IMS500CC	IMS600CC
行程范圍	300 mm	400 mm	500 mm	600 mm
最大速度	200 mm/s	200 mm/s	200 mm/s	200 mm/s
最小位移增量	1250 nm	1250 nm	1250 nm	1250 nm
中心負載能力	600 N	600 N	600 N	600 N
軸向負載 (+Cx)	30 N	30 N	30 N	30 N
逆軸向負載能力 (-Cx)	-30 N	-30 N	-30 N	-30 N
精度，典型值	±2.5 µm	±2.5 µm	±3.0 µm	±4.0 µm
精度，保證值	±5.0 µm	±5.0 µm	±6.0 µm	±9.0 µm
單向重復精度，典型值	±0.45 µm	±0.50 µm	±0.50 µm	±0.50 µm
單向重復精度，保證值	±0.65 µm	±0.65 µm	±0.65 µm	±0.65 µm
雙向重復精度，典型值	±0.70 µm	±0.75 µm	±0.75 µm	±0.75 µm
雙向重復精度，保證值	±1.25 µm	±1.25 µm	±1.25 µm	±1.25 µm
俯仰，典型值	±37 µrad	±37 µrad	±37 µrad	±50 µrad
俯仰，保證值	±75 µrad	±75 µrad	±75 µrad	±125 µrad
俯仰順應性	0.2 µrad/Nm	0.2 µrad/Nm	0.2 µrad/Nm	0.2 µrad/Nm
偏擺，典型值	±15 µrad	±15 µrad	±25 µrad	±30 µrad
偏擺，保證值	±50 µrad	±75 µrad	±75 µrad	±75 µrad
偏擺順應性	1 µrad/Nm	1 µrad/Nm	1 µrad/Nm	1 µrad/Nm
滾轉順應性	1 µrad/Nm	1 µrad/Nm	1 µrad/Nm	1 µrad/Nm
原點重復精度	±0.5 µm	±0.5 µm	±0.5 µm	±0.5 µm
電纜長度	5 m	5 m	5 m	5 m
螺紋類型 1	2001-4-20	2001-4-20	2001-4-20	2001-4-20
重量	17 kg	18.7 kg	20.3 kg	22 kg
MTBF	20,000 h (25% load, 30% duty cycle)	20,000 h (25% load, 30% duty cycle)	20,000 h (25% load, 30% duty cycle)	20,000 h (25% load, 30% duty cycle)
RoHS

注釋:

1. 公制 M- 版本可供選擇。

型號
	IMS300CCHA	IMS400CCHA	IMS500CCHA	IMS600CCHA
行程范圍	300 mm	400 mm	500 mm	600 mm
最大速度	200 mm/s	200 mm/s	200 mm/s	200 mm/s
最小位移增量	200 nm	200 nm	200 nm	200 nm
中心負載能力	600 N	600 N	600 N	600 N
軸向負載 (+Cx)	30 N	30 N	30 N	30 N
逆軸向負載能力 (-Cx)	-30 N	-30 N	-30 N	-30 N
精度，典型值	±2.0 µm	±2.0 µm	±2.5 µm	±3.5 µm
精度，保證值	±4.0 µm	±4.0 µm	±5.0 µm	±6.5 µm
單向重復精度，典型值	±0.12 µm	±0.12 µm	±0.12 µm	±0.12 µm
單向重復精度，保證值	±0.25 µm	±0.25 µm	±0.25 µm	±0.25 µm
雙向重復精度，典型值	±0.20 µm	±0.20 µm	±0.20 µm	±0.20 µm
雙向重復精度，保證值	±0.50 µm	±0.50 µm	±0.50 µm	±0.5 µm
俯仰，典型值	±37 µrad	±37 µrad	±37 µrad	±50 µrad
俯仰，保證值	±75 µrad	±75 µrad	±75 µrad	±125 µrad
俯仰順應性	0.2 µrad/Nm	0.2 µrad/Nm	0.2 µrad/Nm	0.2 µrad/Nm
偏擺，典型值	±25 µrad	±15 µrad	±25 µrad	±30 µrad
偏擺，保證值	±50 µrad	±75 µrad	±75 µrad	±75 µrad
偏擺順應性	1 µrad/Nm	1 µrad/Nm	1 µrad/Nm	1 µrad/Nm
滾轉順應性	1 µrad/Nm	1 µrad/Nm	1 µrad/Nm	1 µrad/Nm
原點重復精度	±0.1 µm	±0.1 µm	±0.1 µm	±0.1 µm
電纜長度	5 m	5 m	5 m	5 m
螺紋類型 1	2001-4-20	2001-4-20	2001-4-20	2001-4-20
重量	17 kg	18.7 kg	20.3 kg	22 kg
MTBF	20,000 h (25% load, 30% duty cycle)	20,000 h (25% load, 30% duty cycle)	20,000 h (25% load, 30% duty cycle)	20,000 h (25% load, 30% duty cycle)
RoHS

注釋:

1. 公制 M- 版本可供選擇。

IMS 長行程鋁直流電機線性平移臺特征

FEM - 優化的鋁制機身

有限元法（FEM）用于優化IMS系列舞臺鋁制車身的結構設計，從而實現了較高的剛度并較大程度地降低了雙金屬彎曲而又不影響重量。 剛體設計減少了載荷下的撓曲，從而在鋁制載物臺設計中實現了最高的性能。 還提供FEM優化的ILS工作臺，這些工作臺具有更短的行程范圍，更低的負載能力和更小的移動平臺。

高速高重復度直流電機

直流電動機的最大特點是速度快，運動平穩，效率高，功率/重量比高。 因此，它們相比于步進電機平臺更適合對于要求高動態速度和緊密重復性的應用。

旋轉或線性編碼器選項

直流電機版本 IMS-CC（絲桿上帶有旋轉編碼器）可提供 1.25 µm 的 MIM 值和 2.5 µm 的雙向重復性。IMS-CCHA 通過高度內插線性標度提高了精度，從而提供 0.2 µm 的 MIM 值和 1µm 的雙向重復性。

旋轉編碼器                                                     線性編碼器

循環滾珠軸承滑塊

借助精確的線性軌跡，循環滾珠軸承滑軌可提供優異的有效載荷和更長的使用壽命。它可以緩解滾珠軸承罩移位的問題，該問題通常出現在線性滾珠軸承或交叉滾子軸承上。

無側隙滾珠絲杠

ILS 平移臺包含有預裝的無側隙滾珠絲杠，可實現具有較短步進時間和穩定時間的平滑且快速的運動。螺桿型材的設計在于減少熱效應，從而延長平移臺的使用壽命。

其他ILS位移臺特性

堅固的頂蓋可防止損壞傳動系統并保護其免受灰塵和碎屑的損壞。 IMS系列位移臺還具有電機端安裝原點設置，可重復初始化，防止超行程的限位開關以及用于平穩緊急制動的彈性運行減震器。

誤差顯示服務

對于關鍵的定位應用，Newport 提供微定位校準服務。當我們的XPS 高級運動控制系統發出指令時，我們將創建、實施和驗證電子補償過程，從而提高 IMS-CCHA 平移臺的絕對位置精度。此外，還可以使用多軸微定位校準服務。 測試在20.0±0.2℃下進行。 您的平移臺將提供校準證書，也可根據要求提供實際數據。

免費提供計量報告

Newport 保證根據 ASME B5.57 和 ISO 230-2 標準測量和記錄的規格值。典型性能值比可保證值高出兩倍。

多軸裝配

Newport的標準電動平移臺和部件可以很容易地組合，以創建數百種可能的多軸系統。根據產品和應用的不同，我們的標準組件提供以下精密對準:

●Orthogonality to 50 µrad

●Axes Coincidence to 20 µm

精密集成系統

Newport可以為精密工業和實驗室應用設計和構建高性能、高性價比的解決方案。此視頻顯示了一個使用所有Newport產品的光學計量系統:IMS300CCHA和IMS-LM用于兩個行程軸的線性平移臺、直線度和穩定性的導軌、電纜管理、帶隔振的花崗巖基座和工作站。

XY裝配

IMS300線性平移臺（X軸）和ILS150線性平移臺（Y軸）直接安裝在一起，以便在兩個線性運動軸上實現高精度。

XZ裝配

IMS300線性平移臺（X軸）和一個GTS30V垂直平移臺 (Z-軸）直接安裝在一起，以便在兩個線性運動軸上實現高精度。

X-Θz 裝配

IMS300線性平移臺（X軸）和一個URS150轉臺(Θz角）直接安裝在一起，以便在一個線性運動軸和一個旋轉運動軸上實現高精度。

X-Θy 裝配

IMS線性平移臺和一個RV 轉臺 安裝在一個 EQ180 直角托架上， 以便在一個線性運動軸和一個旋轉運動軸上實現高精度。

XYZ 裝配

IMS線性平移臺（X軸），一個ILS線性平移臺(Y軸）直接安裝到IMS，ILS線性平移臺安裝在一個EQ120直角托架上 (Z-軸)，在三個線性運動軸上提供高精度。

XY-Θz 裝配

IMS300線性平移臺（X軸），一個ILS150線性平移臺（Y軸）和一個URS100轉臺 (Θz 角)直接安裝在一起，以便在兩個線性運動軸和一個旋轉運動軸上實現高精度。

IMS平移臺水平負載特性

IMS平移臺垂直負載特性

Compatible Controllers

Compatible motion controllers for these stepper motor driven stages are shown below:

●XPS-RLD Motion Controller (2 or 4 Axis): Requires an XPS-DRV11 Driver Module.

●XPS-D Motion Controller (2 , 4 , 6  or 8 Axis): Requires an XPS-DRV11 Driver Module.

●ESP302 Motion Controller (1 , 2 or 3 Axis): Plug and Play compatible with ESP302 Motion Controllers.