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XM 超精密線性電機平移臺

簡要描述:XM 超精密線性電機平移臺可提供持續、可靠的動力性能,運動精度可以達到 1 nm。如此強大的定位能力使其成為各種要求苛刻、突破性應用的理想選擇。

性能超高,最小增量運動為 1 nm
非接觸直接驅動系統,精度超高、動態性能優異且操作可靠
亞納米級高精度玻璃標度編碼器,重復精度為 80 nm
超大型無鐵心高效率線性電機可最大限度地減少發熱
靜音抗蠕變交叉滾子軸承可確保無波紋運動

基礎信息

產品型號

廠商性質

經銷商

更新時間

2024-11-27

瀏覽次數

565
詳細介紹
品牌Newport/美國價格區間面議
產地類別進口產品種類電動
應用領域綜合

XM 超精密線性電機平移臺產品規格

型號image.png
XMS50-SXMS100-SXMS160-SXML210-SXML350-S
行程范圍50 mm100 mm160 mm210 mm350 mm
最大速度300 mm/s300 mm/s300 mm/s300 mm/s300 mm/s
中心負載能力100 N100 N100 N300 N300 N
精度,典型值±0.2 µm±0.3 µm±0.5 µm±0.5 µm±0.5 µm
精度,保證值±0.75 µm±0.75 µm±0.75 µm±1.5 µm±1.5 µm
最小位移增量 21 nm1 nm1 nm1 nm1 nm
雙向重復精度,典型值±0.030 µm±0.030 µm±0.030 µm±0.032 µm±0.035 µm
雙向重復精度,保證值±0.040 µm±0.040 µm±0.040 µm±0.040 µm±0.040 µm
連續運動力 325 N25 N25 N50 N50 N
峰值驅動力100 N100 N100 N240 N240 N
偏擺,典型值±10 µrad±10 µrad±10 µrad±10 µrad±10 µrad
偏擺,保證值±25 µrad±25 µrad±25 µrad±40 µrad±40 µrad
俯仰,典型值±10 µrad±12 µrad±12 µrad±15 µrad±20 µrad
俯仰,保證值±25 µrad±25 µrad±25 µrad±50 µrad±50 µrad
平面度,典型值(保證值) 4±0.37 (±0.75) µm±0.37 (±0.75) µm±0.37 (±0.75) µm±0.75 (±1.50) µm±0.75 (±1.50) µm
直線度典型值(保證值) 5±0.37 (±0.75) µm±0.37 (±0.75) µm±0.37 (±0.75) µm±0.75 (±1.50) µm±0.75 (±1.50) µm
俯仰順應性6.0 µrad/Nm2.5 µrad/Nm2.0 µrad/Nm2.0 µrad/Nm0.7 µrad/Nm
偏擺順應性8.0 µrad/Nm3.5 µrad/Nm2.0 µrad/Nm1.0 µrad/Nm0.2 µrad/Nm
滾轉順應性3.5 µrad/Nm2.0 µrad/Nm1.5 µrad/Nm0.5 µrad/Nm0.1 µrad/Nm
原點重復精度±0.025 µm±0.025 µm±0.025 µm±0.025 µm±0.025 µm
重量2.5 kg3.5 kg4.5 kg13 kg22 kg
MTBF20,000 h (25% load, 30% duty cycle)20,000 h (25% load, 30% duty cycle)20,000 h (25% load, 30% duty cycle)20,000 h (25% load, 30% duty cycle)20,000 h (25% load, 30% duty cycle)
注釋:
  1. 最大速度取決于驅動器。 聯系Newport以獲得更多信息。

  2. 最小增量運動(MIM) 取決于驅動器類型和環境,有關更多信息,請查閱數據表。

  3. 連續運動力與驅動器相關。聯系Newport 以了解更多信息。

  4. 行程中部80%。要得到弧秒單位,請將 µrad 值除以 4.8。

XM 超精密線性電機平移臺特征

適用于激光加工應用

XM平移臺是激光微加工、標記、切割和納米圖案形成等應用的理想平移臺。此視頻顯示兩個XM平移臺堆疊在由NewportXPS控制器驅動的2軸(XY)系統中,用于與振鏡掃描器同步的復雜、平滑、超高精度運動。

3軸超精密

XM系列直接驅動平移臺為苛刻的應用提供超高精度運動。此視頻顯示由兩個XM平移臺和一個xms-v垂直平移臺組成的組件,該組件提供3個軸(XYZ)的運動,可用于聚焦、傳感器測試/校準、直接激光光刻和精密組裝等應用。

可以通過命令控制 1 nm 位移步長

超精密設計和 Heidenhain 光柵尺使 XM 線性平移臺系列能夠在受控環境中通過一致的命令控制 1 nm MIM。

XM-S平移臺能夠在受控環境中使用XPS-D控制器進行1-nm增量運動。

創新的中心驅動、無鐵、直接驅動線性電機

與螺釘驅動平移臺不同,XM采用中心驅動、無鐵芯線性電機作為驅動元件。由于線性電機是無摩擦的直接驅動設備,因此沒有限制運動性能的側隙或滯后、卷繞或靜摩擦。線性電機驅動器還具有更高的速度、加速度和系統響應性的優點,同時沒有電機電刷或驅動螺釘的磨損。超大、無鐵芯電機線圈能確保零齒槽,實現超平滑速度控制,與其他平移臺設計相比,具有更高的效率。這將導致產生的熱量顯著減少,發熱通常是超精密運動應用的主要限制因素。為了進一步改善熱管理及其對平移臺性能的影響,XM 平移臺還具有一個優點,其磁軌和平移臺托架之間采用了成熟的全程去耦機制。

XM平移臺在連續掃描或激光加工應用中提供出色的速度穩定性。 顯示的是使用干涉儀以1 kHz的速率收集的XMS50的速度。

配套的抗蠕變交叉滾子軸承可實現超高精密控制

為了確保精確的軌跡控制,XM平移臺具有配套的同類最佳防蠕動式交叉滾子軸承對。這些軸承中沒有再循環元件,因此可以為苛刻的掃描和檢測系統提供充足的無波紋運動。而且,齒輪保持架會防止軸承罩移位,其他直線軸承產品可能出現此類移位。

線性誤差校正后XMS50-S平移臺的精度,當級以100毫米/秒的速度運動時,以10 khz的速率動態測量。

面向最佳 XY 組件的 T 形托架設計

在 XM 上使用的 T 形托架為精密 XY 組件提供了最佳解決方案,同時不會影響平移臺預載荷。與具有 C 形托架設計的平移臺相比,它更加堅固,并能適應非理想的安裝條件。

具有超表面平整度的花崗巖底座

表面平整度是影響運動系統定位精度和可重復定位精度的主要因素。經過研磨的花崗巖板是市面上可以買到的最平坦表面之一。花崗巖具有緊密的平面度公差和較高的硬度,使其成為補充 Newport 超精密線性電機 XM 系列平移臺的必然選擇。GB 系列花崗巖底座采用 3 點安裝,可安裝在非平面平臺上。邊緣手柄可用于處理底座以及將底座定位在工作表面上。

誤差顯示服務

對于苛刻的定位應用,Newport提供微定位校準服務。當我們的XPS高級運動控制系統發出指令時,我們將創建、實施和驗證電子補償過程,從而提高 Newport XM 平移臺的絕對位置精度。此外,還可以使用多軸微定位校準服務。 測試在20.0±0.2℃下進行。 您的平移臺將提供校準證書,也可根據要求提供實際數據。

用于超可重復移動的高精密線性玻璃標尺

高精密線性標尺提供了精確的位置反饋。該低熱膨脹標尺精確對準并安裝在平移臺中心,將溫度變化對平移臺的可重復定位性和定位精度的影響降至很低。編碼器信號由具有亞納米分辨率和小于 1 nm 噪聲的 Newport XPS 運動控制器進行插值,從而實現出色的定位靈敏度和穩定性。絕對原點位置和極限信號集成到編碼器標尺上,無需任何其他電子或機械結構,便可提高可靠性和精度。


通過精密制造實現超高性能

XM平移臺是由應力消除的高強度鋁加工而成,能確保長期的強度和穩定性。所有關鍵的平移臺表面都進行多次加工,然后在嚴格的溫度和質量控制下進行精密磨削,以進一步提高整體性能和精度。

節省空間的高可靠性設計

所有 XM 平移臺電子設備都固定到穩定的底座,因此平移臺內部沒有移動電纜。這種設計非常緊湊,并具有出色的可靠性和安全性。節省空間的固定讀頭設計避免了在平移臺內部添加移動電纜,并加強了 XM 平移臺的穩健性和可靠性,例如將 MTBF 提高到 20,000 小時。

免費提供計量報告

Newport保證按照ASME B5.57和ISO 230-2標準測量和記錄的規范值。典型性能值是保證規格的兩倍。

XM系列平移臺負載特性

Compatible Controllers

Compatible motion controllers for these XM series linear motor/direct drive driven stages are:


●XPS-RLD Motion Controller (2 or 4 Axis): Requires an XPS-DRV11 Driver Module and XPS-DK22 Cable Kit.

●XPS-D Motion Controller (2 , 4 , 6  or 8 Axis): Requires an XPS-DRV11 Driver Module, and XPS-DK22 Cable Kit.

See our Stage-Controller Compatibility technical note for complete stages and controllers compatibility. 

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