產品介紹

ILS-LM 系列中檔行程線性電機動平移臺產品規格

型號
	ILS100LM-S	ILS200LM-S	ILS300LM-S
行程范圍	100 mm	200 mm	300 mm
最小位移增量	10 nm	10 nm	10 nm
最大速度	500 mm/s	500 mm/s	500 mm/s
連續運動力	20 N	20 N	20 N
峰值驅動力	72 N	72 N	72 N
中心負載能力	250 N	250 N	250 N
精度，典型值	±0.5 µm	±1.0 µm	±1.2 µm
精度，保證值	±1.5 µm	±2.0 µm	±2.5 µm
雙向重復精度，典型值	±0.12 µm	±0.12 µm	±0.12 µm
雙向重復精度，保證值	±0.30 µm	±0.30 µm	±0.30 µm
俯仰，典型值	±20 µrad	±40 µrad	±40 µrad
俯仰，保證值	±110 µrad	±135 µrad	±150 µrad
俯仰順應性	10 µrad/Nm	10 µrad/Nm	10 µrad/Nm
偏擺，典型值	±15 µrad	±25 µrad	±25 µrad
偏擺，保證值	±100 µrad	±125 µrad	±150 µrad
偏擺順應性	10 µrad/Nm	10 µrad/Nm	10 µrad/Nm
滾轉順應性	15 µrad/Nm	15 µrad/Nm	15 µrad/Nm
螺紋類型 1	2001-4-20	2001-4-20	2001-4-20
重量	2.9 kg	3.7 kg	4.5 kg

注釋:

1. M- 版本使用 M6 螺紋安裝孔

ILS-LM 系列中檔行程線性電機動平移臺特征

高速高性能直線電機

ILS-LM采用居中，高效的三相同步無鐵線性電機作為驅動元件。 該驅動系統無噪音，可提供更高的速度，加速度和系統響應速度，而不會因電刷或驅動螺釘而引起磨損。 而且，ILS-LM比同類的螺桿驅動平臺短150毫米以上。 這是解決對于需要高吞吐量，高可靠性和靜音操作的空間受限應用的最佳方案。

ILS Stage Motor Options

ILS Series stages are available with the following motors:

●Stepper Motor (ILS-BPP) - For less demanding applications, a stepper motor can be a more economical solution than a DC motor.

●High-torque DC motor (ILS-CC) - Best characterized by their high speeds, smooth motion, good efficiency and a high power/weight ratio, DC motors are preferable to stepper motor stages for applications requiring high dynamic speed and tight repeatability.

●Linear Motor (ILS-LM) - The ILS-LM employs a centered, high efficiency 3-phase, synchronous ironless, linear motor. This drive system is noise-free and provides higher speed, acceleration and system responsiveness without the wear associated with motor brushes or drive screws.

FEM - 優化的鋁制機身

有限元法（FEM）用于優化ILS-LM工作臺鋁制車身的結構設計，從而實現較高的剛度并在不影響重量的情況下將雙金屬彎曲降至很低。 剛體減少了負載下的撓曲，從而在鋁制載物臺設計中實現了最高的性能。 還提供經FEM優化的 IMS-LM 位移臺，行程更長，負載能力更高 和更大的移動平臺。

循環滾珠軸承滑塊

借助精確的線性軌跡，循環滾珠軸承滑軌可提供優異的有效載荷和更長的使用壽命。它可以緩解滾珠軸承罩移位的問題，該問題通常出現在線性滾珠軸承或交叉滾子軸承上。

納米分辨率線性編碼器

精確的位置反饋由安裝在平臺上的非常可重復的線性標尺提供。 編碼器信號由Newport的 XPS 運動控制器內插，具有納米分辨率，可提供出色的位置靈敏度，可重復性和穩定性。 以相同的比例合并原始位置，避免使用其他電子設備或機械來提高可靠性和準確性。

硬質塞子

ILS-LM位移臺使用電動行程終端和橡膠緩沖器硬限位器，以在行駛結束時盡可能平穩地停止滑架。 保險杠允許的超程為3.5毫米，與Newport XPS 一起使用時 控制器，不允許任何超出行程范圍的命令運動。

誤差顯示服務

對于關鍵的定位應用，Newport 提供微定位校準服務。當我們的 XPS 高級運動控制系統發出指令時，我們將創建、實施和驗證電子補償過程，從而提高 Newport ILS-LM 平移臺的絕對位置精度。此外，還可以使用多軸微定位校準服務。 測試在20.0±0.2℃下進行。 您的平移臺將提供校準證書，也可根據要求提供實際數據。

免費提供計量報告

Newport 保證根據 ASME B5.57 和 ISO 230-2 標準測量和記錄的規格值。典型性能值比可保證值高出兩倍。

偏離中心裝載ILS-LM位移臺

Compatible Controllers

Compatible motion controllers for these linear motor driven stages are:

●XPS-RLD Motion Controller (2 or 4 Axis): Requires XPS-DRV02 Driver Module, XPS-DK26 Cable Kit and E5820A  Encoder Adapter.

●XPS-D Motion Controller (2 , 4 , 6  or 8 Axis): Requires an XPS-DRV02 Driver Module, XPS-DK26 Cable Kit and E5820A Encoder Adapter.